真空泵主要有幾種形式，你知道嗎？雙圓裂片式設(shè)計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干式真空泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，蘭佳為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理xx相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。蘭佳為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計xx相同。也有些廠家將其后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
外部壓縮型螺桿式：在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到小，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
內(nèi)部壓縮型螺桿式：除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃健５诤芏喙に囍校@種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。
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