什么是真空泵，真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
真空泵可以定義為：操縱機(jī)器、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方式對(duì)被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件或配置。隨著真空應(yīng)用的生長(zhǎng)，真空泵的種類已生長(zhǎng)了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。由于真空應(yīng)用部分所涉及的事變壓力的范圍很寬，因此任何一種范例的真空泵都小概xx實(shí)用于全部的事變壓力范圍，只可以根據(jù)不同的事變壓力范圍和不同的事變要求，利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空工藝進(jìn)程的必要，偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用即：真空機(jī)組。
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、羅茨泵和將多種真空泵組合起來以機(jī)組型式應(yīng)用的真空機(jī)組等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。
1)液環(huán)式真空泵：將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏愛裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把事變液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋變化容吸排氣腔。事變液體通常為水或油，以是亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
2)干式真空泵：它是一種泵內(nèi)不消油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩Ｓ捎诟墒秸婵毡帽们粌?nèi)不必要事變液體，因此，實(shí)用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)產(chǎn)業(yè)、制藥產(chǎn)業(yè)及食品行業(yè)等必要無油干凈真空情況的工藝場(chǎng)合。
3)羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持肯定的間隙。
真空泵的工作原理
在泵腔內(nèi)形成通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強(qiáng)增大，最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。
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